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场发射灯丝
发表时间:2022-03-26     阅读次数:

    场发射灯丝


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    YPS热场发射(FE)电镜灯丝可以用在多种聚焦电子束系统上,如SEM,TEM,Auger和CD-SEM等;其优异稳定的质量可以和FEI及Denka媲美,且互换;适用于多种电镜如 Hitachi, JEOL, ZEISS, FEI , PHI , Tescan 等。

    YPS场发射(FE)电镜灯丝主要有2种型式:

    1、YPS-174

    YPS174是较普通的标准热场发射灯丝,与FEI和Denka有相同的品质。光圈直径400um,针尖**250um。

    2、YPS-184

    主要用于FEI SEM电镜,也可用于Tescan FESEMs。


    YPS174 YPS184典型灯丝性能参数:

    Emitter Type

    Thermionic

    Thermionic

    Schottky FE

    cold FE

    Cathode material

    W

    LaB6

    ZrO/W (100)

    W(310)

    Operating temperature [K]

    2,800

    1,900

    1,800

    300

    Cathode radius [nm]

    60,000

    10,000

    < 1,000

    < 100

    Effective source radius [nm]

    15,000

    5,000

    15 (*)

    2.5(*)

    Emission current density [A/cm2]

    3

    30

    5,300

    17,000

    Total emission current [μA]

    200

    80

    200

    5

    Normalized brightness [A/cm2.sr.kV]

    1 x 104

    1 x 105

    1 x 107

    2 x 107

    Maximum probe current [nA]

    1000

    1000

    10-100

    0.2

    Energy spread @ cathode [eV]

    0.59

    0.40

    0.31

    0.26

    Energy spread @ gun exit [eV]

    1.5-2.5

    1.3-2.5

    0.35-0.7

    0.3-0.7

    Beam noise [%]

    1

    1

    1

    5-10

    Emission current drift [%/h]

    0.1

    0.2

    < 0.5

    5

    Operating vacuum hPa/mbar1

    <1 x 10-5

    <1 x 10-6

    <1 x 10-9

    <1x 10-10

    Typical Cathode life [h]

    100

    >1000

    >5000

    >2000

    Cathode regeneration

    not required

    not required

    not required

    every 6 to 8 hours

    Sensitivity to external influence

    minimal

    minimal

    low

    high

    * virtual source; 1hPa= hectopascals = 100 Pa


    订购信息:

    货号

    产品名称

    规格

    YPS174

    YPS热场发射(FE)电镜灯丝

    YPS184

    YPS热场发射(FE)电镜灯丝



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