108C Auto/SE镀碳仪
描述
108carbon SE镀碳仪基于108c镀碳仪。它包含108c的所有优点，但有更大的?150x165mm样品室，可以放置更大或更多的样品。108C Auto/SE是用于扫描电镜能谱分析的先进的镀碳仪之一。
主要特性
- 独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约20nm左右进行多次蒸发，无须切削或调整碳棒形状。
- 108C Auto/SE中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑，容易操作，抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。
- 使用新型的蒸发装置：电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低，碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。
- 可选择手动或自动方式操作。
- 自动模式下，蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下，独特的设计允许以脉冲或连续的方式操作，并通过旋钮控制输出电压。
- 可配备MTM-10高分辨膜厚监控仪（选件）。分辨率优于0.1nm。在15nm至25nm的碳膜厚度范围内，重现性可优于5％。
| 技术参数 |
| 样品室大小 | 直径150 x 165mm 高 |
| 蒸发源 | Bradley型 (6.15mm rods),高强度不锈钢结构 |
| 蒸发控制 | 基于微处理器的反馈回路控制，能够进行远程电流/电压感应，基于真空水平变量的安全互锁功能，最大电流180A，提供过流保护 |
| 样品台 | 可装置12个样品座，高度在30mm范围内可调 |
| 模拟计量 | 真空: atmos – 0.001mb; 电流: 0-200A |
| 厚度监控 | MTM-10 高分辨膜厚监控仪(选件) |
| 控制方法 | 自动蒸发控制，使用程序设定的电压和时间 以脉冲或连续方式进行完全手动控制 数字定时器（0－10s） 数字电压设置（0.1 to 6.0V） |
| 真空系统 |
| 真空泵 | 2级直连式高速真空泵 |
| 抽气速率 | 真空度到 0.1mb所需时间30秒. |
| 极限真空 | 5 x 10-3mba |
| 桌上系统 | 真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统 |